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低蒸汽压力和压力起伏对真空泵的特性有较大危害。因而，蒸汽压力不可小于规定的工作中压力，太多提升蒸汽压力不容易提升抽汽量和真空值。
冷凝水在多级别真空泵中起着关键功效。凝结水能使蒸汽充足凝固。真空泵排出压力中的水蒸汽分压务必高过相对应的全蒸汽压，因而，冷凝水的温度也应小于电机额定功率的温度，以确保泵壳的常规运作。
喷嘴安裝不对，不管采用哪种防范措施，喷嘴阻塞全是难以避免的。一方面因为蒸汽管路的安裝，管路沉渣中的铁屑会阻塞喷嘴; 另一方面，当真空泵系统软件停止运行时，蒸汽管路非常容易锈蚀，应用塞式喷嘴时发生锈迹。
在钢液处理方式中，钢液会释放很多汽体，还会继续有一部分细空气氧化粉末状镀层和别的小颗粒被吸进真空泵内，这种小颗粒会沉积并粘附在泵壳上，进而降低了管道的总流量，增加了泵的水下混凝土時间，减少了泵的水下混凝土作用。
